Distribution and Solubility Limit of Al in Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-doped ZnO Sintered Body

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  • Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>添加ZnO焼結体中のAlの分布と固溶限界
  • Distribution and solubility limit of Al in Al2O3-doped ZnO sintered body

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Al2O3を数mol%添加したZnO焼結体は置換型固溶体を形成しやすく，その半導体特性は不純物元素の存在によって著しく変化する．本研究では，XRD，EPMAによりZnO焼結体中にAlがZnAl2O4の形で存在していることが示唆され，さらにAFM，SEMを用いてZnAl2O4の分布状態を観察した．しかしこれらの機器では，ZnO粒内に固溶しているAlを直接検出することは困難である．そこで微量元素の検出が可能なSIMSを用いてマッピング測定を行ったところ，ZnO粒内にAlが約0.3atomic%固溶していることが示唆された．これはAl固溶により，ZnOの格子定数が変化したことと一致している．

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