書誌事項
- タイトル別名
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- Distribution and Solubility Limit of Al in Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-doped ZnO Sintered Body
- Distribution and solubility limit of Al in Al2O3-doped ZnO sintered body
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説明
Al2O3を数mol%添加したZnO焼結体は置換型固溶体を形成しやすく,その半導体特性は不純物元素の存在によって著しく変化する.本研究では,XRD,EPMAによりZnO焼結体中にAlがZnAl2O4の形で存在していることが示唆され,さらにAFM,SEMを用いてZnAl2O4の分布状態を観察した.しかしこれらの機器では,ZnO粒内に固溶しているAlを直接検出することは困難である.そこで微量元素の検出が可能なSIMSを用いてマッピング測定を行ったところ,ZnO粒内にAlが約0.3atomic%固溶していることが示唆された.これはAl固溶により,ZnOの格子定数が変化したことと一致している.
収録刊行物
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- 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
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日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2007S (0), 121-121, 2007
公益社団法人 日本セラミックス協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680592049280
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- NII論文ID
- 130006972088
- 110006242765
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- NII書誌ID
- AN10040326
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- ISSN
- 09145400
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- NDL書誌ID
- 8781402
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDLサーチ
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可