Electrochemical Micromachining Using Ion Conductors

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Other Title
  • イオン伝導体を利用した金属板表面の微細加工技術の開発

Description

金属イオン伝導体と金属基板の微小接触界面で進行する固体電気化学反応を利用した金属表面の微細加工技術を開発した。金属基板を陽極にして直流電圧を印加することで、金属基板から金属イオンを伝導体中にアノード溶解させる。接触面積の微小化および連続的な電圧印加により金属基板に凹凸が生成する。さらに、電圧を印加しながら界面移動を行い加工溝のパターン化を試みた。適切な金属イオン伝導体を選択することによって、銀および亜鉛板の微細加工に成功した。

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680593151872
  • NII Article ID
    130006973881
  • DOI
    10.14853/pcersj.2005f.0.734.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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