イオン伝導体を利用した金属板表面の微細加工技術の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- Electrochemical Micromachining Using Ion Conductors
説明
金属イオン伝導体と金属基板の微小接触界面で進行する固体電気化学反応を利用した金属表面の微細加工技術を開発した。金属基板を陽極にして直流電圧を印加することで、金属基板から金属イオンを伝導体中にアノード溶解させる。接触面積の微小化および連続的な電圧印加により金属基板に凹凸が生成する。さらに、電圧を印加しながら界面移動を行い加工溝のパターン化を試みた。適切な金属イオン伝導体を選択することによって、銀および亜鉛板の微細加工に成功した。
収録刊行物
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- 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
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日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2005F (0), 734-734, 2005
公益社団法人 日本セラミックス協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680593151872
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- NII論文ID
- 130006973881
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可