EB-PVD法による酸化物セラミックス膜のナノ構造制御
書誌事項
- タイトル別名
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- Nanostructure control of oxide ceramics layers by EB-PVD
説明
ガスタービン用高温部材の遮熱コーティング（TBC）として広く用いられているY2O3安定化ZrO2(YSZ)などのZrO2-Y2O3系セラミックスのような高融点酸化物セラミックスのコーティング法として、電子ビーム物理蒸着(EB-PVD)法が注目されている。EB-PVDで形成されるコーティングの柱状構造は耐熱サイクル特性・耐剥離性に、羽毛状構造は熱遮蔽効果に大きく寄与すると考えられ、各種特性・信頼性の向上にはこれらの構造形成を理解することが重要である。本研究では，EB-PVD法によるZrO2-Y2O3系膜などの酸化物セラミックス膜合成において、蒸着源に対する基材の配置、基材回転などの合成条件が、コーティングの気孔率、配向、柱状・羽毛状構造に与える影響について報告する。
収録刊行物
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- 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
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日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2005F (0), 182-182, 2005
公益社団法人 日本セラミックス協会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680593416576
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- NII論文ID
- 130006974311
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可