レーザ照射による非晶質鉄シリサイドの相転移
書誌事項
- タイトル別名
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- Phase transition of the amorphous iron disilicide thin-film by the Nd:YAG laser irradiation
説明
環境負荷が小さく、低コストで、軽量、高出力の熱電素子を作製するための基礎研究として、室温でのシリサイド薄膜熱電材料の作製法を検討している。現在、室温作製した鉄シリサイド薄膜は非晶質部を含み、熱電特性を低下させている。そこで、Nd:YAGレーザを短時間照射することにより、非晶質鉄シリサイドをβ-FeSi2化することを試みた。その結果、レーザ照射により、β化が可能であることが明らかとなった。
収録刊行物
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- 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
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日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2009S (0), 436-436, 2009
公益社団法人 日本セラミックス協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680594588288
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- NII論文ID
- 130006976074
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
