Determination of yield stress by Nano-indentation method

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  • ナノインデンテーション法による薄膜材料の降伏強度の評価

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次世代ULSIの微細化と多層配線技術開発にあったっては、ナノメートルスケールでの力学的定量評価が必須であり、ナノインデンテーション法が広く用いられてきた。しかし、その試験から得られる「硬さ」は機械的特性値でしかないため、降伏強度に代表される塑性変形の定量評価には至っていない。そこで、本研究では球形圧子を用いたナノメートルスケールでの降伏強度の測定手法の開発し、配線用材料であるCuに適用した。

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680623585408
  • NII Article ID
    130004673219
  • DOI
    10.14886/sssj.24.0.187.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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