Nano-CMMの温度特性の向上
書誌事項
- タイトル別名
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- Improvement of thermal behavior of nano-CMM
- 測定系の温度分布及び熱膨張の解析
抄録
本報では，ナノメートルオーダの三次元測定機（以下nano-CMM）の測定系の温度特性の向上を目的とする．ホロゲージ（ミツトヨ製ガラススケール）の温度変化による変位測定実験を行い，その補正を提示することで温度による影響を小さくした．さらなる精度向上のため，新しい測定系の試作機の開発を行い，精度評価実験を行った．結論として，測定系の低膨張化の必要性を述べる．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2003A (0), 455-455, 2003
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680624556544
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- NII論文ID
- 130005026746
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可