テレスコピックリニアアクチュエータの高真空中での駆動
書誌事項
- タイトル別名
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- Operation of Telescopic Stick-Slip Actuator in High Vacuum
抄録
電子顕微鏡における試料導入機構の単純・小型化を目指し,長さが可変であるテレスコピックリニアアクチュエータを開発している.真空容器外部からアクチュエータを加振させることによって真空中での駆動が可能である.真空容器にベーク処理を施し,到達圧力4.6x10-8Paにおけるアクチュエータの駆動についての報告を行う.駆動中,圧力は約3.0x10-7Paまで上昇し,駆動速度は約2.5mm/sを得た.
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2004S (0), 552-552, 2004
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680625106944
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- NII論文ID
- 130004656377
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可