Precision positioning of a Sawyer motor
Bibliographic Information
- Other Title
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- Sawyerモータの精密位置決めに関する研究
- Sawyerモータの精密位置決めに関する研究:サーフェスエンコーダを用いた位置決めシステムの提案
- サーフェスエンコーダを用いた位置決めシステムの提案
Abstract
多自由度平面モータであるSawyerモータは高速,軽量,ストロークが長いといった長所を持つが,オープンループ駆動時で数十μmと低い位置決め精度が短所として挙げられる.そこで,多自由度計測装置であるサーフェスエンコーダを融合することでSawyerモータの長所を失うことなく,クローズドループ制御を導入したステージシステムを構築することができる.本報では,提案の位置決めシステムについて述べる.
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2004A (0), 500-500, 2004
The Japan Society for Precision Engineering