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Precision positioning of a Sawyer motor

  • 田野 誠
    東北大学 工学研究科 ナノメカニクス専攻
  • 高 偉
    東北大学 工学研究科 ナノメカニクス専攻
  • 清野 慧
    東北大学 工学研究科 ナノメカニクス専攻
  • 冨田 良幸
    住友重機械工業 技術開発センター
  • 佐々木 卓也
    住友重機械工業 技術開発センター
  • 牧野 健一
    住友重機械工業 技術開発センター
  • 森田 洋
    住友重機械工業 技術開発センター
  • 平田 徹
    住友重機械工業 技術開発センター

Bibliographic Information

Other Title
  • Sawyerモータの精密位置決めに関する研究
  • Sawyerモータの精密位置決めに関する研究:サーフェスエンコーダを用いた位置決めシステムの提案
  • サーフェスエンコーダを用いた位置決めシステムの提案

Abstract

多自由度平面モータであるSawyerモータは高速,軽量,ストロークが長いといった長所を持つが,オープンループ駆動時で数十μmと低い位置決め精度が短所として挙げられる.そこで,多自由度計測装置であるサーフェスエンコーダを融合することでSawyerモータの長所を失うことなく,クローズドループ制御を導入したステージシステムを構築することができる.本報では,提案の位置決めシステムについて述べる.

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