書誌事項
- タイトル別名
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- Precision positioning of a Sawyer motor
- サーフェスエンコーダを用いた位置決めシステムの提案
抄録
多自由度平面モータであるSawyerモータは高速,軽量,ストロークが長いといった長所を持つが,オープンループ駆動時で数十μmと低い位置決め精度が短所として挙げられる.そこで,多自由度計測装置であるサーフェスエンコーダを融合することでSawyerモータの長所を失うことなく,クローズドループ制御を導入したステージシステムを構築することができる.本報では,提案の位置決めシステムについて述べる.
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2004A (0), 500-500, 2004
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680625597312
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- NII論文ID
- 130004655763
- 10016587213
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可