厚膜フォトレジストSU-8の粘弾性特性評価とサイズ効果に関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- Effect of Specimen Size on Viscoelastic Properties of Micro-thick SU-8 Polymer
説明
本研究では,単軸引張試験により常・中温域におけるマイクロ·ミリスケールSU–8膜の粘弾性特性評価を行い,寸法·温度依存性について検討した.マイクロスケールSU–8の室温での弾性率は3.5GPaであり,温度の上昇に伴い減少したが,試験片寸法依存性は見られなかった。また、マイクロスケールSU–8の緩和弾性率の時間変化はミリスケールと同様の傾向を示し,一本のマスターカーブで表されることがわかった.緩和弾性率のマスターカーブ構築により,SU–8の粘弾性特性には寸法依存性が存在することがわかった.
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2005A (0), 1037-1038, 2005
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680625751168
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- NII論文ID
- 130004656667
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
