Defect Inspection Technology Using Spatial Filtering

DOI
  • 浜松 玲
    日立製作所　生産技術研究所　検査システム部
  • 野口 稔
    日立製作所　生産技術研究所　検査システム部
  • 西山 英利
    日立製作所　生産技術研究所　検査システム部
  • 宇都 幸雄
    日立製作所　生産技術研究所　検査システム部
  • 大島 良正
    日立製作所　生産技術研究所　検査システム部
  • 渡邉 哲也
    日立電子エンジニアリング　光学応用装置ビジネスユニット

Bibliographic Information

Other Title
  • 空間フィルタリングを用いた欠陥検査技術

Abstract

半導体ウェハや液晶パネルのように素子の繰返しによって構成される製品は，空間フィルタリングによって高感度で検査が可能である。空間フィルタリングとはレンズのフーリエ変換作用を利用し，素子の繰返しパターンからの回折光を周波数領域でフィルタリングをする技術である。今回バネとエッチングプレートを使って高精度な機械式空間フィルタリング装置を作成したので報告する。

Journal

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680626738688
  • NII Article ID
    130004655385
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2003s.0.815.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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