周波数可変レーザを用いたピコメートル干渉測長法の開発

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書誌事項

タイトル別名
  • Development of laser interferometer with picometer resolution using tunable laser
  • 4-st report: Extension of measurement range
  • 第４報：広範囲変位計測への展開と制御の最適化

説明

周波数可変レーザ(TLD)を用いた位相変調ホモダイン干渉計(PMHI)によるピコメートル分解能の計測装置を開発している。3報で報告した装置により、光路差に依存するFSR(Free Spectrum range)を直接計測する方法を示した。しかし制御が最適ではなく定常偏差が残ってしまった。今回は制御の最適化を図ったので報告する。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680628215168
  • NII論文ID
    130005028058
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2007a.0.689.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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