マイクロ角度センサに関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of a micro-angle sensor
抄録
現在、運動誤差測定のための光学機器の利用が進んでいる。そこで本研究では感度、応答性を維持しつつ機械に組み込み可能なほど小型かつ安価な角度センサの開発を目的としている。このため、小型で応答性に優れている分割型PDを使用する。また、分割型PDの特性から焦点距離を短くしても感度を維持することが可能であるということが言える。以上の原理から本研究では可能な限り小さな角度センサを開発し、その特性を評価する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2005S (0), 643-643, 2005
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680628257024
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- NII論文ID
- 130004657771
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可