超高真空対応テレスコピック型Stick-Slipアクチュエータの開発

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書誌事項

タイトル別名
  • Development of Ultrahigh Vacuum Compatible Telescopic Stick-Slip Actuator
  • 振動解析による安定した駆動の実現

抄録

筆者らは,超高真空環境下で利用可能な長ストローク,高分解能,かつ伸縮可能なアクチュエータの開発をおこなっている.本アクチュエータはStick-Slipアクチュエータを多段化したものである.これまでに10-7 Paでの駆動を確認しているが,多段動作では動作が安定しないことがあった.共振点の解析を行い,動作を不安定にする機械共振を抑制したところ,安定した動作が得られた.

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680628284032
  • NII論文ID
    130004657787
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2005s.0.661.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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