超高真空対応テレスコピック型Stick-Slipアクチュエータの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of Ultrahigh Vacuum Compatible Telescopic Stick-Slip Actuator
- 振動解析による安定した駆動の実現
抄録
筆者らは,超高真空環境下で利用可能な長ストローク,高分解能,かつ伸縮可能なアクチュエータの開発をおこなっている.本アクチュエータはStick-Slipアクチュエータを多段化したものである.これまでに10-7 Paでの駆動を確認しているが,多段動作では動作が安定しないことがあった.共振点の解析を行い,動作を不安定にする機械共振を抑制したところ,安定した動作が得られた.
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2005S (0), 661-661, 2005
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680628284032
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- NII論文ID
- 130004657787
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可