小径工具を用いた揺動制御ラッピングの研究
書誌事項
- タイトル別名
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- Study on Oscillation Controlled Lapping Method using Small Diameter Lap Tool
- Slurry Flow Mechanism and Controlled Characteristics
- スラリーフローの解明と形状制御特性に関する検討
抄録
本研究では研磨装置に用いられる大口径定盤の表面形状や大口径ウェーハなどの高精度形状制御研磨を達成する方法として，小径工具を用いた揺動制御ラッピング方式を検討している．本報告では，当該方式の研磨特性に及ぼす各種因子の影響を検討した結果を述べる．特に有限要素解析を通じて工作物に付与される研磨圧力の変化等を明らかにするとともに，その結果に基づいた工作物全面の形状制御研磨を行った結果について言及する．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2009S (0), 299-300, 2009
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680628547456
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- NII論文ID
- 130005029590
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可