PCDドリルを用いたマイクロ穴加工における超音波振動の効果
書誌事項
- タイトル別名
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- Effects of ultrasonic vibration on micro drilling with micro PCD drill
抄録
直径約300μｍのマイクロPCDドリルを製作し，それを用いて石英ガラスに穴加工を行った．マイクロPCDドリルを用いた石英ガラスへの穴加工において，超音波振動を援用した際の効果について明らかにした．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2009S (0), 995-996, 2009
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680628978688
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- NII論文ID
- 130005029977
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可