ポリシングにおけるドレス条件がパッド表面性状に及ぼす影響に関する研究

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タイトル別名
  • Study on Effect of Dressing Method on Pad Surface Characteristics in Polishing Technique
  • Application of Evaluation Parameters to Commercially Available Apparatus
  • 評価パラメータの実機装置への適用

抄録

本研究ではポリシングにおけるパッド表面性状の定量評価パラメータを提示することを目的に，主として表面粗さ曲線の分布解析法やダブプリズムによる接触画像法に基づき検討している．前報では基礎実験として，修正リング型研磨装置を用いた場合で得た結果を示した．本報では当該パラメータを実機装置のパッド評価に適用した場合の結果を示し，その結果，当該パラメータには妥当性があることが認められた．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680629703424
  • NII論文ID
    130005029429
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2009s.0.1033.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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