超高精度X線集光ミラーの作製と集光特性の評価

DOI
  • 三村 秀和
    大阪大学　大学院工学研究科　精密科学専攻
  • 松山 智至
    大阪大学　大学院工学研究科　精密科学専攻
  • 湯本 博勝
    大阪大学　大学院工学研究科　精密科学専攻
  • 原 英之
    大阪大学　大学院工学研究科　精密科学専攻
  • 山村 和也
    大阪大学　大学院工学研究科　附属超精密科学研究センター
  • 佐野 泰久
    大阪大学　大学院工学研究科　精密科学専攻
  • 遠藤 勝義
    大阪大学　大学院工学研究科　附属超精密科学研究センター
  • 森 勇藏
    大阪大学　大学院工学研究科　附属超精密科学研究センター
  • 石川 哲也
    理化学研究所　播磨研究所
  • 山内 和人
    大阪大学　大学院工学研究科　精密科学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Fabrication of ultraprecisely figured mirrors for hard X-ray focusing and evaluation of focusing property

説明

本研究の目的は、超高精度X線集光ミラーの作製により、X線のナノ集光を実現することである。これまで、15keVのX線で90nmの集光サイズを実現している。本研究では、さらに大きなNAを持つミラーを作製することで、設計上50nm以下の集光サイズを実現するミラーの作製を行った。集光特性の評価を行った結果、設計値と同等の集光サイズが得られた。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680630190848
  • NII論文ID
    130004657900
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2005s.0.788.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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