レーザトラッピングプローブを用いたナノ3次元形状計測に関する研究(第6報)

DOI
  • 小林 光俊
    大阪大学 工学研究科 機械工学専攻 高谷・林研究室
  • 道畑 正岐
    大阪大学 工学研究科 機械工学専攻 高谷・林研究室
  • 林 照剛
    大阪大学 工学研究科 機械工学専攻 高谷・林研究室
  • 高谷 裕浩
    大阪大学 工学研究科 機械工学専攻 高谷・林研究室

書誌事項

タイトル別名
  • Development of laser trapping probe for the nano-CMM(Coordinate Measuring Machine)(6th report)
  • Improvement for the unstable behavior of the probe sphere
  • プローブ球不安定挙動の改善

抄録

物体の3次元形状をnmオーダー精度で計測可能な超高精度3次元座標計測器の開発のためのプローブ技術として、レーザトラッピングプローブを提案している。プローブは捕捉レーザの測定物による遮断、測定面に近づける方向などによって不安定な挙動を示す。本報では、これを捕捉レーザの偏光状態やプローブ形状によって改善する方法を検討した。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680630670848
  • NII論文ID
    130005030869
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2011s.0.809.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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