圧電駆動式MEMSマイクロミラーの共振周波数付近における温度特性

DOI
  • 森田 伸友
    九州大学 システム生命科学府 生命工学専攻
  • 竹下 俊弘
    九州大学 工学部 機械航空工学科
  • 小林 健
    産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
  • 前田 龍太郎
    産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
  • 伊藤 寿浩
    産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
  • 澤田 廉士
    九州大学 工学研究院 機械工学部門

書誌事項

タイトル別名
  • Piezoelectric-Actuated MEMS Micromirror Characteristics Dependence on Temperature Around Resonant Frequency

説明

MEMS(Microelectromechanical Systems)マイクロミラーは小型プロジェクタ、内視鏡、超小型顕微鏡などの光学スキャニングデバイスへの応用が期待されるが、MEMSは温度の影響を大きく受ける。本論文では圧電駆動式MEMSマイクロミラーの共振周波数付近の温度特性について述べる。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680630914944
  • NII論文ID
    130005030858
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2011s.0.789.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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