数値制御ローカルウェットエッチングにおける加工精度の向上に関する研究　第Ⅱ報

下園 直樹, 永野 幹典, 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2013s.0.367.0

数値制御ローカルウェットエッチングにおける加工精度の向上に関する研究　第Ⅱ報

DOI

下園直樹

大阪大　工学部工学研究科付属超精密科学研究センター
永野幹典

大阪大　工学部工学研究科付属超精密科学研究センター
山村和也

大阪大　工学部工学研究科付属超精密科学研究センター

書誌事項

タイトル別名

ラマン分光法によるフッ化水素酸濃度測定の高精度化

説明

数値制御ローカルウェットエッチングは、被加工物とエッチャントの化学反応を利用した加工法であり、そのエッチングレートはエッチャントの濃度と温度に依存する。本手法の加工精度向上には、エッチングレートのin situ測定が必要である。ラマン分光法による濃度測定において誤差の要因となるレーザー光強度変動を、サファイア由来のスペクトル強度で補正することにより、フッ化水素酸濃度を誤差0.23 wt％で測定することに成功した。