加工環境制御可能なBell-Jar型CMP装置による難加工材料の研磨特性
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- Egashira Takateru
- Kyushu University
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- Doi Toshiro
- Kyushu University
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- Kurokawa Syuhei
- Kyushu University
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- Ohnishi Osamu
- University of Miyazaki
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- Uneda Michio
- Kanazawa Institute of Technology
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- Koshiyama Isamu
- Koshiyama Science and Technology Foudation
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- Ichikawa Daizo
- Fujikoshi Machinery Corp.
Abstract
本研究では,研磨装置全体を耐圧密閉チャンバーで覆った加工雰囲気を制御可能なBell-Jar型CMP装置を用いて難加工材料(サファイア,GaN)の加工を行い,加工メカニズムを追求しつつ雰囲気の影響に着目して高加工レート,良加工面が得られる加工条件を見出すことを目的としている.本報では,耐圧密閉チャンバー内の雰囲気の性質(気体種,気圧)が加工レートに及ぼす影響について検討した.
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2012A (0), 81-82, 2012
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680631846912
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- NII Article ID
- 130004660940
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed