超高精度形状測定機UA3Pシリーズによる微細形状の高精度計測
書誌事項
- タイトル別名
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- The high precision measurement of the minute shape by the UA3P series
説明
超高精度形状測定機UA3Pシリーズでは、光学レンズ、MEMS等、微細形状の測定・評価が可能である。特にUA3P-Lは、垂直壁面を低測定力、高精度で測定可能であり、金型の内径、外径、真円度、同軸度などの評価が可能なことを特徴としている。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2011A (0), 878-879, 2011
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680632299392
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- NII論文ID
- 130004660478
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
