ヘテロダイン型レーザ干渉計を搭載した高周波振動校正装置の開発
説明
ISO 16063-11(振動加速度計の一次校正方法)で規定されるホモダイン型レーザ干渉計では、5 kHzあたりが測定可能な上限となる。そこで、20 kHzまでの加速度計の一次校正に対応するために、ヘテロダイン型レーザ干渉計を搭載した高周波振動校正装置を開発した。両者の結果を比較したところ、加速度計の感度は良い一致を示したが、位相遅れでは一定の時間ズレを示した。本発表では、装置開発の現状とその校正結果について報告する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2016A (0), 435-436, 2016
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680632647296
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- NII論文ID
- 130005244267
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可