メッシュ工具におけるラッピング特性
抄録
研磨において、定盤表面形状が研磨に与える影響を調べるためにラッピング工具に金属メッシュを用いて、サファイアの研磨を行った。メッシュ間隔や定盤表面の凹凸形状を変化させることで、研磨特性がどのように変化するか把握し、理想的な定盤表面形状について考察を行った結果を報告する。
収録刊行物
-
- 精密工学会学術講演会講演論文集
-
精密工学会学術講演会講演論文集 2016A (0), 533-534, 2016
公益社団法人 精密工学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282680632689280
-
- NII論文ID
- 130005244351
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可