広領域精密平板を対象とした実用的な表面輪郭測定システム

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タイトル別名
  • Practical surface profile measurement system for precision surface plates of large area

抄録

精密定盤の使用に際し，その実表面の形状及び面の平面度を知ることが望ましい．近年では、定盤に広領域化や精密化が求められ，評価を行う測定装置にもこれらの要求が求められている.本研究では，簡易三点法に基づいた表面輪郭測定システムを開発し，精密平板を対象に測定実験を行った．また，繰り返し性の高さから十分に実用化を見込めことを確認した．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680633158912
  • NII論文ID
    130005031249
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012s.0.441.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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