Effect of nano-pulse plasma in diamond synthesis using hot filament CVD

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  • 熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド合成におけるナノパルス援用効果

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ダイヤモンドは，物質中で最も高い硬度や優れた耐摩耗性を有している．その特徴から切削工具などへのダイヤモンド膜コーティングが試みられている．しかし膜の表面粗さが大きいことや膜の合成温度が高いことが実用上の課題となっている．これらの課題に対し，本研究では、一般的なダイヤモンド膜の合成ツールである熱フィラメントに加え，高圧極短パルス（ナノパルス）によるプラズマを援用し，その影響について調査を行った．

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680633282560
  • NII Article ID
    130004659770
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2010s.0.515.0
  • Article Type
    journal article
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
    • KAKEN
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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