革新的“plasma fusion CMP装置”の設計・試作（第7報）
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- Oyama Koki
- 九州大，並木精密宝石
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- Doi Toshiro K.
- Kyushu University
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- Sano Yasuhisa
- Osaka University
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- Kurokawa Syuhei
- Kyushu University
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- Aida Hideo
- 九州大，並木精密宝石
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- Kim Seonwoo
- Namiki Precison Jewel Co., Ltd.
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- Shiozawa Kousuke
- Osaka University
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- Nishizawa Hideaki
- Namiki Precison Jewel Co., Ltd.
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- Yamazaki Tsutomu
- Kyushu University
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- Miyashita Tadakazu
- Fujikoshi Machinery Corp.
Bibliographic Information
- Other Title
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- “plasma fusion CMP装置”（B型）による加工メカニズムの検討
Abstract
難加工材料の高能率・高品位加工をめざし”plasma fusion CMP装置”（B型）を設計・試作し、CMPとP-CVMの同時融合加工から、高能率な加工結果を報告してきた。本報は、更なる高能率加工を追求し、SiC基板を主加工対象として、フッ素プラズマによる融合加工と、酸素プラズマによる表面酸化優勢な支援加工について、加工速度と表面粗さに着目し比較検討した。その結果、融合加工において支援加工を凌ぐ高能率・高品位加工が出来ることを見出した。
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2015S (0), 527-528, 2015
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680634028800
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- NII Article ID
- 130005486374
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed