Development of fine motion table supported by squeezed air films based on levitation force control

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  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

Abstract

微動性能向上の鍵は摺動部の摩擦低減にある．本研究ではスクイーズ効果で浮上支持させ，浮上力制御と自重バランスで駆動可能な微動テーブルを開発した．加振振幅を与えることで浮上力が得られ，振幅調整によって微動が生じる．試験の結果，テーブルが非接触で支持されていることを確認した．また，振幅をステップ状に変化させたところ変化に応じてテーブルが微動し，全ストローク変位と最小変位を観察できた．

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Keywords

Details

  • CRID
    1390282680634205568
  • NII Article ID
    130006434531
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2017a.0_727
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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