Development of fine motion table supported by squeezed air films based on levitation force control
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- Tamaru Yuuma
- Kyushu Institute of Technology
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- Matsumoto Tetsuya
- Kyushu Institute of Technology
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- Shimizu Hiroki
- Kyushu Institute of Technology
Bibliographic Information
- Other Title
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- 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発
Abstract
微動性能向上の鍵は摺動部の摩擦低減にある.本研究ではスクイーズ効果で浮上支持させ,浮上力制御と自重バランスで駆動可能な微動テーブルを開発した.加振振幅を与えることで浮上力が得られ,振幅調整によって微動が生じる.試験の結果,テーブルが非接触で支持されていることを確認した.また,振幅をステップ状に変化させたところ変化に応じてテーブルが微動し,全ストローク変位と最小変位を観察できた.
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2017A (0), 727-728, 2017
The Japan Society for Precision Engineering
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Details
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- CRID
- 1390282680634205568
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- NII Article ID
- 130006434531
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed