大気圧プラズマ援用クーラントシステムの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- A study on atmospheric-pressure plasma assisted coolant technique
- SiCのPCDマイクロミーリングにおけるプラズマ援用クーラントの効果
- Effect of atmospheric-pressure plasma jet on PCD micro milling characteristics of silicon carbide
抄録
大気圧低温プラズマジェットを援用することで,加工中のクーラント効果を促進させ,微細ダイヤモンド工具の加工性能を最大限に引き出すことを目的としている.SiCに対するPCDミーリング加工時におけるプラズマ援用クーラントの効果について報告する.プラズマ援用クーラントにより,平均表面粗さで1 nm以下という高品位な表面が得られること,さらに,加工距離が延びても得られる面粗さは安定することを確認している.
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2015S (0), 715-716, 2015
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680635180672
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- NII論文ID
- 130005486387
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可