ナノインプリントを利用した金属ナノドットアレイの効率的製造法の検討

DOI
  • 寺野 元規
    東京工大　大学院理工学研究科　機械制御システム専攻
  • Potejana Potejanasak
    東京工大　大学院理工学研究科　機械制御システム専攻
  • 保土田 亮
    東京工大　大学院理工学研究科　機械制御システム専攻
  • 吉野 雅彦
    東京工大　大学院理工学研究科　機械制御システム専攻
  • 三田 正弘
    協同インターナショナル　電子部

説明

当研究室では金属ナノドットを効率的製するために，微細切削加工・微細塑性加工と熱処理による自己組織化を利用した手法を提案している．本報では，Niモールドやプラスチックモールドを利用したナノインプリントにより，基板上の金属薄膜にパターニングし熱自己組織化させることにより規則的に配列した金属ナノドットの作製を試みた．

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キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680635319680
  • NII論文ID
    130005479649
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2014a.0_887
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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