ペルチェ冷却による精密位置決め装置の熱変形抑制

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書誌事項

タイトル別名
  • Prevention of Thermal Deformation of Precision Positioning Device by Peltier Effect
  • ボールねじの熱膨張低減
  • Decrease of Thermal Expansion of Ball Screw

説明

セミクローズド制御の精密位置決め装置では，ボールねじの熱膨張による位置決め誤差が発生する．本研究では，ペルチェモジュールによる冷却システムを用いステージ上面及び玉軸受支持台両側面の計3箇所を冷却することで、ねじ軸の温度を一定に保ち、熱膨張量を低減することを目的とする．実験の結果、ボールねじの熱膨張量を2μmまで低減することに成功した．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680635411328
  • NII論文ID
    130005486419
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2015s.0_595
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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