微小ガラス穴内側形状の測定と解析
書誌事項
- タイトル別名
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- Measurement and analysis of small glass hole inner shape
- 反転レプリカ法と3次元測定装置の有効性と課題点
- Effectiveness and issues of reverse replica method and 3D form measuring instrument
抄録
微小ガラス穴内側形状は，触針子が穴内部に入らないため接触式測定機は使用できない．またガラス穴を縦に切断し内部を露出して触針子で測定する場合でも，長軸方向測定は可能だが周方向測定は不可能である．そこで穴内側形状をレプリカにより外側形状に反転転写し，このレプリカの外周を非接触で測定する高精度3次元測定機で測定した．本研究の目的は，このレプリカ法と3次元測定装置の有効性と課題点を明らかにすることである．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 983-984, 2017
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680635798400
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- NII論文ID
- 130006044062
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可