大気圧プラズマ援用クーラントシステムの開発

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タイトル別名
  • PCDボールエンドミルによるSiCの高品位加工への適用

抄録

本研究では，大気圧プラズマジェットを加工点にピンポイントで照射することにより，加工中のクーラント効果を促進させ，微細ダイヤモンド工具の加工性能を向上させることを試みた．窒素ガスベースの大気圧プラズマ援用クーラントを使用し，PCDボールエンドミルによりCVD-SiCのミーリング加工を行った結果，Raで1.7nmという高品位な加工面が得られた．本手法を用いることにより，工具表面の付着物の抑止に甚大な効果があることが確認できた．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680636284160
  • NII論文ID
    130006043834
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2017s.0_647
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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