- 【Updated on May 12, 2025】 Integration of CiNii Dissertations and CiNii Books into CiNii Research
- Trial version of CiNii Research Automatic Translation feature is available on CiNii Labs
- Suspension and deletion of data provided by Nikkei BP
- Regarding the recording of “Research Data” and “Evidence Data”
Fabrication of conical microstructures on the surface of single crystal silicon substrate by anisotropic etching
-
- Ishii Tomoyuki
- Kyushu Institute of Technology
-
- Shimizu Seigi
- Kyushu Institute of Technology
-
- Murakami Sunao
- Kyushu Institute of Technology
-
- Tashiro Yasunori
- Mishima Kosan Co.,Ltd.
-
- Oniki Takahiro
- Mishima Kosan Co.,Ltd.
-
- Ito Takahiro
- Kyushu Institute of Technology
Bibliographic Information
- Other Title
-
- シリコンの結晶異方性ウェットエッチングによる円錐形状の表面微細構造の作製
Description
本研究では,水酸化テトラメチルアンモニウムを使用した単結晶シリコン(SCS)の結晶異方性ウェットエッチングにおいて,その条件等により加工後の形状を制御することで,昨年度までに作製した凸の四角錐形状に加え,円錐形状の表面微細構造の作製を試みた。特に,ウェットエッチングにおけるSCS基板の結晶異方性とエッチング時の保護マスクパターン形状に着目することで,底面が円形状の表面微細構造物の作製に成功した。
Journal
-
- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
-
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2015S (0), 797-798, 2015
The Japan Society for Precision Engineering
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282680636938368
-
- NII Article ID
- 130005486574
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- Abstract License Flag
- Disallowed