有機金属気相成長法により作製されたZn <sub>1-x</sub> Mg <sub>x</sub> Se <sub>y</sub>Te <sub>1-y</sub>層の組成と基板温度の関係
書誌事項
- タイトル別名
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- The relationship between substrate temperature and composition of Zn<sub>1-x</sub>Mg<sub>x</sub>Se<sub>y</sub>Te<sub>1-y</sub> layer prepared by metalorganic vapor phase epitaxy
抄録
Zn1-xMgxSeyTe1-y4元混晶半導体薄膜が有機金属気相成長法により(001)Gaドープの半絶縁性ZnTe基板の上に作製された。ジメチル亜鉛、ジエチルテルル、ビスメチルシクロペンタジエニルマグネシウム、ジエチルセレンが原料として用いられた。Zn1-xMgxSeyTe1-yの組成と基板温度の関係がEDXとXRD測定双方から決定された。基板温度が増加するとSe組成(y)が増加するがMg組成(x)が減少することが分かった。これらの振る舞いは、ジエチルセレンの熱分解特性と、ジエチルテルルとビスメチルシクロペンタジエニルマグネシウムの間の反応による混晶へのMgの取り込みの抑制とに関係すると予想された。
収録刊行物
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- 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
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電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2013 (0), 282-282, 2013
電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680641294336
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- NII論文ID
- 130005487393
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可