ショットキー型熱電界電子源におけるZr/O/W表面構造

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ショットキー型熱電界電子源として広く使われているジルコニア(ZrO2)で被覆したタングステン(W)結晶面の表面構造をRHEED、AES、TOF-SIMSを用いて調べた。温度上昇に伴う表面周期構造の相転移が(100)面では起こるが、(110)面では起こらないことが分かった。また、ZrはOと結合し最表面に結合していること、WOx層がW結晶とZr表面吸着層の間に存在していることが分かった。

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  • CRID
    1390282680654479360
  • NII Article ID
    130005481142
  • DOI
    10.14886/sssj2008.34.0_177
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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