GISAXS法による表面近傍の構造変化の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Nanostructure change near surface region exmined by grazing-incidence small-angle scattering
説明
表面からサブミクロン程度以内での相分離などの自発的に形成されるナノ組織の評価に有効なGISAXS法による解析例について、特にここ数年で適用例の増えてきた軟X線（TenderX線）領域を利用した深さ分解能の向上を利用した結果を中心に報告する。 <br>
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 227-, 2016
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680654596736
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- NII論文ID
- 130005175574
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可