Fabrication of Graphene Nanoribbon by a Mask of Multi Walled Carbon Nanotube

Bibliographic Information

Other Title
  • 多層カーボンナノチューブをマスクとしたグラフェンナノリボンの作製

Description

グラフェンナノリボンはバンドギャップと高い電子易動度を有するため、高速電界効果トランジスタのチャネル部材として期待されている。本研究では多層カーボンナノチューブをCVDグラフェン上に散布し、オゾンによる炭素エッチングのマスクとして利用した。その後、多層カーボンナノチューブを除去し、高さ1 nmのグラフェンナノリボンを作製した。

Journal

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680654823552
  • NII Article ID
    130005175623
  • DOI
    10.14886/sssj2008.36.0_177
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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