Desorption from amorphous nano-thin film surfaces induced by electron injection at back surfaces and transmission-secondary-electron energy-distribution

DOI
  • Hirota Masato
    奈良先端科学技術大学院大学　物質創成科学研究科
  • Toyoshima Takahumi
    奈良先端科学技術大学院大学　物質創成科学研究科
  • Hirota Masato
    奈良先端科学技術大学院大学　物質創成科学研究科
  • Kato Naoya
    奈良先端科学技術大学院大学　物質創成科学研究科
  • Hattori Ken
    奈良先端科学技術大学院大学　物質創成科学研究科
  • Daimon Hiroshi
    奈良先端科学技術大学院大学　物質創成科学研究科

Bibliographic Information

Other Title
  • 裏面電子線照射によるアモルファスカーボンナノ薄膜表面からの脱離測定及び 透過二次電子エネルギー分布測定

Description

我々は、アモルファスカーボンナノ薄膜の裏面への電子線照射により薄膜表面から電子励起脱離が生じることを確認している。この結果、脱離収量と電子線強度の関係が線形であり、脱離収量と電子線エネルギーの関係に3つの領域の存在が観測された。これは、入射電子が薄膜中を弾道する際に発生する二次電子が脱離に寄与しているものと考えられる。現在、小型の透過電子エネルギー分析器を製作し、その性能評価や分布測定を行なっており、その現状を報告する。

Journal

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680655081344
  • NII Article ID
    130005472937
  • DOI
    10.14886/sssj2008.33.0_125
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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