Si(001)基板上のβ-FeSi2(100)ナノカーペットの面内XRD測定による歪み評価

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タイトル別名
  • Strain of a b-FeSi2(100) nano-carpet on a Si(001) substrate studied with in-plane XRD measurements

抄録

我々はこれまでにβ-FeSi2が基板ステップを緩和する際に、格子不整合に起因する歪み二次元ナノカーペット構造を持つこと、LEED•in-plane XRD測定によってナノカーペットの逆格子に歪みに起因する特徴的な広がりがあることをほうこくしてきた。<br> 前回我々は、β041, 042, 082逆格子点が原点からの延長方向に伸びていること、それが歪みに起因することを報告した。今回は逆格子点と歪みモデルとのフィッティングによって、ナノカーペットの歪みを評価する。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680655421696
  • NII論文ID
    130005974901
  • DOI
    10.14886/sssj2008.37.0_4
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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