TEM―FM-AFM法による金ナノ接点のヤング率測定

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Mesurements of Young's modulus in gold nano-contact by TEM_FM-AFM

抄録

デバイスの微細化やナノマシンの開発で、材料寸法のスケールダウンに伴う物性変化が注目されている。数nmオーダーの材料の電気特性の評価が進む一方、力学特性の評価は遅れている。本研究では、透過型電子顕微鏡（TEM）と周波数変調原子間力顕微鏡（FM-AFM）を複合化し、金ナノ接点の原子配列の観察を行いながら、その部位のヤング率を測定した。ナノ接点のサイズ変化、原子配列の変化とヤング率の相関を議論する。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680655481472
  • NII論文ID
    130005974751
  • DOI
    10.14886/sssj2008.37.0_278
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ