Pumpdown equation in low and medium vacuum regions.

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  • 低・中真空領域での排気方程式の検討

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通常、排気方程式は一定の実効排気速度を仮定して計算されるが、粘性流領域ではコンダクタンスが配管出入り口の平均圧力に比例するため、真空容器と真空ポンプとの間のコンダクタンスが小さい場合 、容器内の圧力は指数関数的には変化せず、ある圧力から時間の逆数で圧力が低下する領域がある。配管のコンダクタンスの圧力依存性を含んだ排気方程式の解析解と実験で得られた排気曲線を比較した結果、比較的良い一致を示した。

Journal

Details

  • CRID
    1390282680655526144
  • NII Article ID
    130005974781
  • DOI
    10.14886/sssj2008.37.0_266
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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