低・中真空領域での排気方程式の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Pumpdown equation in low and medium vacuum regions.
説明
通常、排気方程式は一定の実効排気速度を仮定して計算されるが、粘性流領域ではコンダクタンスが配管出入り口の平均圧力に比例するため、真空容器と真空ポンプとの間のコンダクタンスが小さい場合 、容器内の圧力は指数関数的には変化せず、ある圧力から時間の逆数で圧力が低下する領域がある。配管のコンダクタンスの圧力依存性を含んだ排気方程式の解析解と実験で得られた排気曲線を比較した結果、比較的良い一致を示した。
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 37 (0), 266-, 2017
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680655526144
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- NII論文ID
- 130005974781
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
