High-resolution measurement of field-ion yield distributions within a single image spot using a micro-probe hole field ion microscope

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  • マイクロプローブホール電界イオン顕微鏡を用いた単一輝点内部のイオン生成率分布の精密測定

Abstract

我々は、放出される電界イオンの観測を直径15pmの円形領域に制限したμPH-FIMを用いて、単一原子位置からのイオン生成率分布および導入ガス圧依存性を観測した。その結果、単一の輝点内部であっても電界イオン生成率分布に異方性が存在すること、および導入ガス圧依存性に違いが有ることを見出した。局所領域における微視的な電場分布とガス拡散の違いが輝点分布に及ぼす影響について報告する。

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Keywords

Details

  • CRID
    1390282680656520704
  • NII Article ID
    130005175832
  • DOI
    10.14886/sssj2008.36.0_86
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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