C60イオンスパッタを用いたガラス表面のXPS深さ方向分析

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書誌事項

タイトル別名
  • XPS depth analysis of glass surface using C60 ion sputtering

説明

アルカリまたはアルカリ土類のような可動イオンを含むガラスについては、一般的に用いられているArイオンスパッタを用いてXPSまたはAESなどにより深さ方向分析を行うと、スパッタダメージによる組成変化が生じ、定量的な分析がこれまで不可能であった。今般、C60イオンスパッタを用いることにより、可動イオンの移動のない正確な深さ方向プロファイルが取得可能になった。この詳細内容を報告する。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680656812544
  • NII論文ID
    130004674262
  • DOI
    10.14886/sssj2008.29.0.57.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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