スパッタリング中性粒子のレーザーイオン化システムの構築
書誌事項
- タイトル別名
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- construction of laser ionization system for sputtering neutral particles
- 公開日
- 2003
- DOI
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- 10.11561/aesj.2003f.0.082.0
- 公開者
- 一般社団法人 日本原子力学会
説明
固体にイオンビームを照射してスパッタリングにより放出される粒子の大部分は中性粒子である。我々のグループでは高速重イオンをターゲットに入射し、その表面から放出される二次イオンを飛行時間測定法を用いて質量分析することで電子的スパッタリングのメカニズムについての研究を行ってきた。そのためには二次粒子のうちの大部分を占める中性粒子のふるまいを解析することが不可欠であり、二次中性粒子をレーザーによりイオン化し質量分析するための新たなシステムを構築した。
収録刊行物
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- 日本原子力学会 年会・大会予稿集
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日本原子力学会 年会・大会予稿集 2003f (0), 082-082, 2003
一般社団法人 日本原子力学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680692385152
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- NII論文ID
- 130007023992
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
