Siひずみゲージ応用衝撃力センサの試作

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  • 磯部 晃生
    東北大学大学院工学研究科
  • 加藤 武瑠
    東北大学大学院工学研究科
  • 鈴木 研
    東北大学大学院工学研究科附属先端材料強度科学研究センター
  • 三浦 英生
    東北大学大学院工学研究科附属先端材料強度科学研究センター

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Impact Sensor Using Silicon Strain Gauge

抄録

<p>A strain sensor which can monitor the change of local stress distribution in 3-D stacked structures was developed by applying the piezoresistive effect of single-crystalline silicon. The sensor was embedded in a silicon chip, and it measured the impact effect for the chip during the manufacturing and operating process of electronic products. The strain dependence of the electrical conductivity of the sensor was evaluated. Fabricated sensor showed liner voltage-current characteristics and the gauge factor of about 100.</p>

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